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现有教授一名,副教授,高工五名,在读博士生八名,硕士生十四名。
      研究所前身电子束研究室成立于1970年,是学校最早的研究单位之一。先后承担国家自然科学基金、国家自然科学基金重大研究计划项目、国防科工委、中科院、航天部、山东省及企业委托项目四十余项。研究领域涉及微机电系统、计算机控制、激光精密测量、精密机械、电子技术、生物芯片、生物医学仪器等多个领域,研究成果获国家级奖一项,省部级奖十二项,专利二项,培养了大批高技术人才。
      96年以来,《微细加工技术》季刊上电子束技术专栏中的论文平均一半以上由该所撰写,其中半数以上被EI光盘收录,发表论文三百多篇。理论成果获省级一等奖一项,二等奖三项,省教委奖四项。
      现主要研究方向为:计算机控制与智能仪器;机器人控制与微机电系统;微米、纳米加工及控制技术;微机电系统加工控制技术;生物芯片加工新技术等。
    长:张玉林教授
联系电话:0531-88392827


 

电子束研究所所长张玉林教授 (图片点击放大)